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分光エリプソメトリー第2版 [ 藤原裕之 ]
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藤原裕之 丸善出版ブンコウ エリプソメトリー フジワラ,ヒロユキ 発行年月:2011年05月 ページ数:369p サイズ:単行本 ISBN:9784621083222 藤原裕之(フジワラヒロユキ) 1991年早稲田大学理工学部応用化学科卒業。1996年東京工業大学大学院博士課程修了、博士(工学)。1996年ペンシルバニア州立大学研究員。1998年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。2001年独立行政法人産業技術総合研究所研究員。2003年同研究所主任研究員。2007年同研究所太陽光発電研究センター研究チーム長。2008年国立大学法人岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 第1章 分光エリプソメトリーとは/第2章 光学の基礎/第3章 偏光/第4章 分光エリプソメトリーの原理/第5章 データ解析/第6章 光学異方性の評価/第7章 材料別解析例/第8章 分光エリプソメトリーによる実時間観測 「第2版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。 本 科学・技術 物理学
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