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ローター方式:ツーステージ
ドライブ方式:ダイレクト式
排気速度:51L/min(60Hz)、42L/min(50Hz)
到達真空度:15×10-3 Torr(15ミクロン)
回転数:3440r.p.m(60Hz)、2880r.p.m(50Hz)
電源:100V
モーター:190W
オイル封入量:約250㏄
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